VTC-110PAX高通量自動旋轉涂膜系統

腔體環境

水含量:<1 ppm (20°C, 1 atm)
氧含量:<1 ppm (20°C, 1 atm)

前級室

設計有兩個前級室
大前級室尺寸：Φ360mm x 600mmL
小前級室尺寸：Φ150 mm x 300mm(L)

工作氣體

工作氣體：N2、Ar、He 等惰性氣體
控制氣體：壓縮空氣或惰性氣體
還原氣體：工作氣體和氫氣（H2）的混合氣。
如果凈化系統只有除水功能的，還原氣體與工作氣體相同

氣體凈化系統

德國 BASF 除氧材料，美國 UOP 吸水材料，凈化系統再生過程自動控制，自動除水除氧功能；可長期、持續維持氣體純度：水<1ppm，氧<1ppm。

壓力控制系統

腔體氣壓可通過 PLC 觸摸屏自動控制
控制精度為: ±1Pa
也可通過腳踏開關進行手動控制

過濾系統

進氣和出氣端都安裝有過濾器
過濾精度為：0.3μm

控制系統

SIEMENS 彩色觸摸屏（6 寸），PLC 控制系統，中英文雙語可切換
水探頭：采用美國 GE 品牌，0～1000ppm 觸摸屏顯示，精度 0.1 ppm
氧變送器：采用美國AII品牌，0～1000ppm觸摸屏顯示，精度0.1 ppm
壓力傳感儀：采用美國 setra 品牌，-2500～2500Pa 觸摸屏顯示，精度±1Pa

手套

美國 NORTH 品牌丁基合成橡膠

照明系統

配置飛利浦品牌熒光燈管

儀器尺寸

2300mm(L) x 1500mm(W) x 1900mm(H)

注意事項

手套箱內部氣體循環時，必須保證循環系統管道通暢，不可堵塞
手套箱中不可通入腐蝕性氣體
要定期對手套箱進行再生
手套箱的除氧速率要根據所通入的工作氣體而定，采用 N2 的除氧要比通入 Ar 好
若手套箱內部放有腐蝕性氣體（如 LiPF6 電解液），不使用時，必須把裝液體的瓶子密封好

旋涂機參數

1、腔體（材質）：聚丙烯

2、載樣盤（吸盤）：聚丙烯吸盤Φ19mm 、Φ60mm 、φ100㎜各一個

3、運行方式：可儲存 12 組程序；每組程序包含 6 個運行階段

4、涂膜轉速：20rpm-12500rpm 有效，速度分辨率1rpm/s

5、增減速率：每段增減速率設置范圍： 20 rpm —15000 rpm/s

6、涂膜時間：每段時間范圍：0-3000s

7、轉速穩定性：±1%

液體攪拌系統

配備四個可加熱磁力攪拌泵

加熱溫度RT-100℃

磁力攪拌速度：0-2000rpm

注液系統

移液槍自動左右上下移動

水平移動有效行程：500mm行程

水平移動速度：1~1800mm/min(整數)。

垂直上下移動有效行程：250mm；

上下提拉移動速度：1~200mm/min(整數)

配備四個高精度自動注液器

注液精度：±1μl

增量：1μl

薄膜烘干系統

1、加熱功率：3500W

2、加熱溫度：≤500℃

3、控溫精度：±1℃

4、加熱板：350mm×240mm