VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

產品型號

VTC-600-2HD-1000

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）及減壓閥
4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通風裝置：需要

主要參數

1、輸入電源：220V/50Hz
2、濺射靶數量：2
3、腔體內徑：?300mm
4、靶槍冷卻方式：水冷
5、極限真空度：7.4E-5pa
6、真空室規格：Φ300×330 mm
7、真空系統：VRD-16機械泵 FF-100/150渦輪分子泵
8、恢復真空：系統從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min（系統短時間暴露大氣）
9、充氣系統：2路質量流量計（１路氬氣100scc、２路氬氣200scc）特殊氣體可定制
10、濺射靶規格：Φ2"，厚度0.1-5mm（因靶材材質不同厚度有所不同）
11、樣品臺：Φ140mm/可旋轉（1～20rpm）/可加熱（室溫～1000℃）

產品規格

主機尺寸：寬900mm×深650mm×高1100mm