4路質子混氣管式PECVD系統

產品型號

  4路質子混氣管式PECVD系統

主要特點

  1、內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。

  2、輝光放電等離子體中電子密度可達109-1012cm³。

  3、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍。

  4、配有高精度數字顯示質量流量計，可準確地控制氣體流量。

  5、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

  6、不銹鋼針閥安裝在左側部分，可手動控制混合氣體的輸入。

  7、已通過CE認證。

技術參數

  管式爐

  1、電源：AC220V  4KW

  2、爐管：Φ50mm，Φ60mm，Φ80mm都可用

  3、溫度控制器：30段高精度數字可編程溫度控制器

  4、加熱區：440mm

  5、恒溫區：150mm

  等離子射頻電源

  1、輸入功率：AC220V  1KW

  2、輸出功率：50-500W可調，±1%

  3、RF頻率：13.56MHz可調，±0.005%穩定

  4、噪聲：≤55DB

  5、冷卻：風冷

  真空泵和質量流量計

  1、真空度：10^-3torr

  2、波紋管：KF25系列

  3、質量流量計：0-200，誤差0.02%，進氣口采用標準雙卡頭

產品規格

  尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，供氣及真空系統600mm×600mm×1250mm

  重量：120kg

可選配件

  防腐型數字式真空計